晶圆	2” – 12”
晶片传送	手动加载
最大直径	12.2”
最大面积	8.6”× 8.6”
典型测量时间	1秒每site
最大输出	每个晶片1分（29sites）
测量范围	2 mΩ/□ – 5 MΩ/□（可以优化为1 mΩ/□）
重复率 (1σ, 典型):	≤ ±0.02%
准确度	≤ ±0.5%采用NIST可追溯性ResCal标准
最低周边除外范围	1.5毫米（探针中心到膜边缘距离）
电脑系统	奔腾系列, windows XP家用（不带显示）
SECS-II 选项	有
映照模式	极投影地图（对准缺口/平形，跨越，或者持平）, 矩形图（选择内侧边缘排除）, 线扫描（直径，半径或沿直径任意点，最小步进0.1毫米点）, 用户自定义（模板）
平面图	等高线（间距选择，1/3σ，固定和自动％），3D，线，数据图，直方图，数据序列，径向和角分布，趋势图的不同模式可供选择
数据	所有ResMap数据文件可以复制到如Excel®进行进一步的分析。
中央吸尘系统	不要求真空
交流功率	100V to 240V < 10 KVA
尺寸	18”×15”×10”

型号	HSL-1, HSL-10, HSL-20, HSL-2100
中心波长	1060nm, 1310nm
最大输出功率	≥20mW(HSL-2100), ≥40mW(其余)
扫描范围	≥75nm(HSL-1), ≥90nm(HSL-10), ≥105nm(HSL-20), ≥170nm(HSL-2100)
扫描率	10-400kHz（可选择）(HSL-1), 100kHz(HSL-10), 50kHz/100kHz(HSL-20), 20kHz(HSL-2100)
相干长度	>100mm(HSL-1), ≥10nm(HSL-10), ≥16mm/≥20mm(HSL-20), ≥6mm(HSL-2100)
特性	灵活的扫描速率和范围、长相干长度(HSL-1), 高速扫描≥90nm(HSL-10), 高速扫描/宽扫描范围(HSL-20), 线性扫描/宽扫描范围(HSL-2100)
技术	可调谐垂直腔面发射激光器(HSL-1), MEMS 外腔(HSL-10，HSL-20), 灵活的扫描速率和范围(HSL-2100)

可测量少子寿命	1-5ms
重量	1kg

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