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CDE ResMap 四点探针 (ResMap 178)4探针测试系统(电阻率,面电阻)
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| 晶圆 | 2‘’-6‘’ |
|---|---|
| 量测头 | 2~4个 |
| 量测单元 | 最多扩充3个 |
| 探针材质 | 碳化钨 |
| 探针压力 | 100gm~200gm |
| 数据搜集 | 每点高达4000笔 |
| 数据接口 | Semi标准接口 |
| 重量 | 0.178kg |
ERIS-1.1 Phase Only Spatial Light Modulator
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| 型号 | ERIS-1.1-VIS-160 B, ERIS-1.1-VIS-160 C, ERIS-1.1-NIR-153, ERIS-1.1-TELCO-162 |
|---|---|
| 显示类型 | 模拟 |
| 工作波长 | 420 – 650 nm可见光 (VIS), 420-1100nm, 1400-1600 nm |
| 分辨率 | 1920 × 1200 |
| 像素间距 | 8.0 µm |
| 填充因子 | >95 % |
| 有效工作区域 | 15.36 × 9.6 mm(对角线 0.709英寸) |
| 寻址位数 | 8 位(256 个灰度等级), 10 位(1024 个灰度等级) |
| 信号格式 | HDMI 接口 |
| 输入帧率 | 60Hz, 120Hz |
| 反射率 | 85%(ERIS-1.1-VIS-160 B), 89%(ERIS-1.1-VIS-160 C), 76-90%(ERIS-1.1-NIR-153), 90%(ERIS-1.1-TELCO-162) |
| 最大相移 | 3.2 π @ 633 nm (ERIS-1.1-VIS-160 B), 2.5 π @ 633 nm(ERIS-1.1-VIS-160 C), 8.5 π @ 450 nm,2.4 π @ 1064 nm(ERIS-1.1-NIR-153), 2.3 π @ 1550 nm(ERIS-1.1-TELCO-162) |











