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光伏及半导体研发测试,针对光伏、半导体材料与芯片进行光电参数、微观结构、可靠性检测,服务新材料研发、工艺迭代与产品性能验证。
光伏及半导体研发测试
CDE ResMap 四点探针 (ResMap 178)4探针测试系统(电阻率,面电阻)
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| 晶圆 | 2‘’-6‘’ |
|---|---|
| 量测头 | 2~4个 |
| 量测单元 | 最多扩充3个 |
| 探针材质 | 碳化钨 |
| 探针压力 | 100gm~200gm |
| 数据搜集 | 每点高达4000笔 |
| 数据接口 | Semi标准接口 |
| 重量 | 0.178kg |
FPS-300闪光电源
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| 充电时间 | 3秒(QSS)或1秒(瞬态) |
|---|---|
| 闪光模式 | LO和HI(200W和400W,用于BCT-400 / BLS-I) |
| 定制设计 | WCT-120, SunsVoc, BCT-400, BLS-I |
| 软件版本 | WCT-120:4.6.0或更新版本, SunsVoc:4.6.0或更新, BCT-400 / BLS-I:4.5.1或更新 |
ResMap 273
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| 晶圆 | 2” – 12” |
|---|---|
| 晶片传送 | 手动加载 |
| 最大直径 | 12.2” |
| 最大面积 | 8.6”× 8.6” |
| 典型测量时间 | 1秒每site |
| 最大输出 | 每个晶片1分(29sites) |
| 测量范围 | 2 mΩ/□ – 5 MΩ/□(可以优化为1 mΩ/□) |
| 重复率 (1σ, 典型): | ≤ ±0.02% |
| 准确度 | ≤ ±0.5%采用NIST可追溯性ResCal标准 |
| 最低周边除外范围 | 1.5毫米(探针中心到膜边缘距离) |
| 电脑系统 | 奔腾系列, windows XP家用(不带显示) |
| SECS-II 选项 | 有 |
| 映照模式 | 极投影地图(对准缺口/平形,跨越,或者持平), 矩形图(选择内侧边缘排除), 线扫描(直径,半径或沿直径任意点,最小步进0.1毫米点), 用户自定义(模板) |
| 平面图 | 等高线(间距选择,1/3σ,固定和自动%),3D,线,数据图,直方图,数据序列,径向和角分布,趋势图的不同模式可供选择 |
| 数据 | 所有ResMap数据文件可以复制到如Excel®进行进一步的分析。 |
| 中央吸尘系统 | 不要求真空 |
| 交流功率 | 100V to 240V < 10 KVA |
| 尺寸 | 18”×15”×10” |
四探针 四点探针 四探针测试仪 四探针太阳能硅片电阻率测试仪
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| 尖端半径 | 0.25毫米 |
|---|---|
| 10×10地图的持续时间 | 4分钟 |
| 最大测试电流 | 30 mA |
| 重量 | 16kg |
| 尺寸 | 36cm×48cm×24cm |











