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在商业化产品中,瑞士Lyncee Tec公司的DHM®-T系列透射式数字全息显微镜是市场上的典型代表。

核心配置:该系统采用模块化设计,可配置单激光源(T1000型)或双激光源(T2100型)。双激光源模式可有效扩展对不连续台阶高度的测量范围,适应更复杂的样品。

关键性能指标:

垂直分辨率:0.30纳米,精度极高。

成像速度:190帧/秒(1024×1024像素),可实现实时动态观测。

动态范围:可测连续结构高度达100微米;在双光源模式下,对台阶高度的测量上限可达2微米。

振动测试:可分析最高25MHz的MEMS周期振动,面外振动测量精度可达0.5皮米

Lyncee Tec

反射式数字全息显微镜DHM-Rlynceetec

In stock

型号R1000, R2100, R2200
激光光源1(R1000), 2(R2100), 3(R2200)
工作波长
测量模式单激光波长666nm (R1000), 单激光波长666nm,双激光合成波长4.2μm(R2200), 单激光波长666nm,双激光合成波长4.2μm, 双激光合成波长24μm(R2200)
测量精度[nm]0.15 (R1000), 0.15/3.0(R2100), 20(R2200)
纵向分辨率[nm]0.3(R1000), 0.30/6.0(R2100), 40(R2200)
测量可重复性[nm]0.01(R1000), 0.01/0.1(R2100), 0.5(R2200)
动态可测纵向范围最大200μm
最大可测台阶高度最大333nm(R1000), 最大2.1μm(R2100), 最大12μm(R2200)
适用样品表面类型平滑表面(R1000), 复杂或非连续结构表面(R2100,R2200)

透射式数字全息显微镜DHM-Tlynceetec

In stock

型号T1000, T2000
工作波长
测量模式单激光波长666nm(T1000), 单激光波长666nm,双激光合成波长8μm(T2100)
测量精度[nm]1(T1000), 1.0/5.0(T2100)
纵向分辨率[nm]2(T1000), 2.0/10.0(T2100)
测量可重复性[nm]0.02(T1000), 0.02/0.05(T2100)
动态可测纵向范围最大500μm
最大可测台阶高度最大1.0μm,最大3.5μm(T1000), 最大7.0μm,最大22μm(T2100)