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680nm

反射式数字全息显微镜DHM-Rlynceetec

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型号R1000, R2100, R2200
激光光源1(R1000), 2(R2100), 3(R2200)
工作波长
测量模式单激光波长666nm (R1000), 单激光波长666nm,双激光合成波长4.2μm(R2200), 单激光波长666nm,双激光合成波长4.2μm, 双激光合成波长24μm(R2200)
测量精度[nm]0.15 (R1000), 0.15/3.0(R2100), 20(R2200)
纵向分辨率[nm]0.3(R1000), 0.30/6.0(R2100), 40(R2200)
测量可重复性[nm]0.01(R1000), 0.01/0.1(R2100), 0.5(R2200)
动态可测纵向范围最大200μm
最大可测台阶高度最大333nm(R1000), 最大2.1μm(R2100), 最大12μm(R2200)
适用样品表面类型平滑表面(R1000), 复杂或非连续结构表面(R2100,R2200)