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反射式数字全息显微镜DHM-Rlynceetec
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| 型号 | R1000, R2100, R2200 |
|---|---|
| 激光光源 | 1(R1000), 2(R2100), 3(R2200) |
| 工作波长 | 666nm, 794nm, 680nm |
| 测量模式 | 单激光波长666nm (R1000), 单激光波长666nm,双激光合成波长4.2μm(R2200), 单激光波长666nm,双激光合成波长4.2μm, 双激光合成波长24μm(R2200) |
| 测量精度[nm] | 0.15 (R1000), 0.15/3.0(R2100), 20(R2200) |
| 纵向分辨率[nm] | 0.3(R1000), 0.30/6.0(R2100), 40(R2200) |
| 测量可重复性[nm] | 0.01(R1000), 0.01/0.1(R2100), 0.5(R2200) |
| 动态可测纵向范围 | 最大200μm |
| 最大可测台阶高度 | 最大333nm(R1000), 最大2.1μm(R2100), 最大12μm(R2200) |
| 适用样品表面类型 | 平滑表面(R1000), 复杂或非连续结构表面(R2100,R2200) |
