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Phasics Kaleo MultiWAVE多波长干涉仪Phasics

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光学设置双通
工作波长
光学孔径5.1″ (130 mm)
重复性（ISO 5725）<5 nm RMS
再现性（ISO 5725）<7 nm RMS
动态范围（散焦）TWE 200nm RMS
精度(RWE)<80 nm RMS
精度(TWE)<20 nm RMS
尺寸910mm×600mm×260 mm