Phasics Kaleo MultiWAVE多波长干涉仪Phasics

Phasics Kaleo MultiWAVE动态干涉仪能够兼顾测量透射波前误差和反射波前误差(TWE / RWE)。 直径最高至5.1英寸(130毫米)的镀膜和未镀膜的光学器件可在其工作波长下直接进行测量。 Kaleo MultiWAVE是购买多台干涉仪或特殊波长干涉仪的有效替代方案,拥有极高性价比。 该系统同时可提供媲美Fizeau干涉仪测量精度,及动态干涉仪的优秀抗震性能。

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Description

Phascis-KALEO-MultiWAVE-interferometer_300250

Phasics KaleoMultiWAVE多波长干涉仪

Phasics Kaleo MultiWAVE动态干涉仪能够兼顾测量透射波前误差和反射波前误差(TWE / RWE)。 直径最高至5.1英寸(130毫米)的镀膜和未镀膜的光学器件可在其工作波长下直接进行测量。 Kaleo MultiWAVE是购买多台干涉仪或特殊波长干涉仪的有效替代方案,拥有极高性价比。 该系统同时可提供媲美Fizeau干涉仪测量精度,及动态干涉仪的优秀抗震性能。

Kaleo MultiWAVE多色干涉仪| 独特的干涉仪| 几个波长的波前误差

Kaleo MultiWAVE工作台是一种独特的仪器,可在多个波长下提供波前误差。诸如透镜,滤光器或镜子之类的光学元件可以在其工作波长下表征,KaleoMultiWAVE可在不同波长下工作,以在涂层的工作波长下对光学元件和涂层进行鉴定。

该工作台具有与干涉测量相似的卓越精度,并且在大直径上具有非常好的动态特性。

测量在双通道中进行,无论是透射还是反射

 

 

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光学设置 双通
标准波长 625 / 780 / 1050 nm
定制波长 400 to 1100 nm
光学孔径 5.1″ (130 mm)
重复性(ISO 5725) <5 nm RMS
再现性(ISO 5725) <7 nm RMS
动态范围(散焦)RWE 10μm PtV
动态范围(散焦)TWE 200nm RMS
精度(RWE) <80 nm RMS
精度(TWE) <20 nm RMS
尺寸 910 x 600 x 260 mm
技术优势:

  • 多波长干涉仪–同一个工作台上有多个波长
  • 标准:625nm-780nm-1050nm
  • 可定制波长:UV-400-1100nm-SWIR
  • 高动态范围–超过20μm的PtV
  • 大口径的10μm PtV动态范围
  • 高度畸变的波前测量
  • 超高精度—干涉仪水平
  • 精度类似于干涉仪
  • 非常高的重复性
  • 噪音极低
应用:

  • 表面测量
  • 镀膜(AR,介电,金属)
  • 干涉滤波器

市场:

  • 光学制造商
  • 滤波片制造商
  • 太空与防御
  • 汽车

规格:

  • 符合ISO 5725标准
  • MetroPro格式兼容
  • 提供ISO 10110格式

KaleoMultiWAVE-1

与Fizeau干涉仪对比:

光学设置 Fizeau Phasics
Diameter (mm) 124.9 125.4
RWE (nm PtV) 1498.13 1535.38
RWE (nm RMS) without PST/TLT/PWR 35.2 28.1
RWE (nm RMS) without ST/TLT/PWR/AST/CMA/SA 9.1 12.9
SAG (fr)– ISO 10110 5.13 5.04
IRR (fr) 0.75 0.61
RSI (fr) 0.34 0.23
RMSt (fr) 1.477 1.459
RMSi (fr) 0.129 0.103
RMSa (fr) 0.085 0.059

KaleoMultiWAVE-interferometer-results

Specification

Overview

工作波长
尺寸910mm×600mm×260 mm

General

光学设置双通
光学孔径5.1″ (130 mm)
重复性(ISO 5725)<5 nm RMS
再现性(ISO 5725)<7 nm RMS
动态范围(散焦)TWE 200nm RMS
精度(RWE)<80 nm RMS
精度(TWE)<20 nm RMS

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