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美国Creative Design Engineering, 简称“CDE”,成立于1995年,位于美国加州硅谷的库比蒂诺 – Cupertino, CDE公司专注于四探针设备的生产和销售,累计销量达1000台以上,遍布世界各大半导体Fab, 太阳能光伏企业,大学及科研机构,“CDE”是四探针领域的知名品牌。

CDE的使命是开发和制造生产高价值的,高性能,成本低为半导体制计量产品及相关行业

CDE已制造并交付了超过1000 套resmap电阻率测试系统,大约24%用于 300mm测量,该公司已交付的太阳能电池的开发和生产支持多个单位。

CDE是位于硅谷的心脏地带,提供世界范围内的销售和服务代表网络支持。

CDE

CDE ResMap 四点探针 (ResMap 178)4探针测试系统(电阻率,面电阻)

In stock

晶圆2‘’-6‘’
量测头2~4个
量测单元最多扩充3个
探针材质碳化钨
探针压力100gm~200gm
数据搜集每点高达4000笔
数据接口Semi标准接口
重量0.178kg

ResMap 168

In stock

晶圆4″ – 8″(自动), 2″ – 8″(手动)

ResMap 273

In stock

晶圆2” – 12”
晶片传送手动加载
最大直径12.2”
最大面积8.6”× 8.6”
典型测量时间1秒每site
最大输出每个晶片1分(29sites)
测量范围2 mΩ/□ – 5 MΩ/□(可以优化为1 mΩ/□)
重复率 (1σ, 典型): ≤ ±0.02%
准确度≤ ±0.5%采用NIST可追溯性ResCal标准
最低周边除外范围1.5毫米(探针中心到膜边缘距离)
电脑系统奔腾系列, windows XP家用(不带显示)
SECS-II 选项有
映照模式极投影地图(对准缺口/平形,跨越,或者持平), 矩形图(选择内侧边缘排除), 线扫描(直径,半径或沿直径任意点,最小步进0.1毫米点), 用户自定义(模板)
平面图等高线(间距选择,1/3σ,固定和自动%),3D,线,数据图,直方图,数据序列,径向和角分布,趋势图的不同模式可供选择
数据所有ResMap数据文件可以复制到如Excel®进行进一步的分析。
中央吸尘系统不要求真空
交流功率100V to 240V < 10 KVA
尺寸18”×15”×10”

ResMap 463-FOUP

In stock

晶圆300mm, 200mm
‌测量范围1mΩ/□~10mΩ/□
测量精度±0.5%
静态重复精度0.02%