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美国Creative Design Engineering, 简称“CDE”,成立于1995年,位于美国加州硅谷的库比蒂诺 – Cupertino, CDE公司专注于四探针设备的生产和销售,累计销量达1000台以上,遍布世界各大半导体Fab, 太阳能光伏企业,大学及科研机构,“CDE”是四探针领域的知名品牌。
CDE的使命是开发和制造生产高价值的,高性能,成本低为半导体制计量产品及相关行业
CDE已制造并交付了超过1000 套resmap电阻率测试系统,大约24%用于 300mm测量,该公司已交付的太阳能电池的开发和生产支持多个单位。
CDE是位于硅谷的心脏地带,提供世界范围内的销售和服务代表网络支持。
CDE
CDE ResMap 四点探针 (ResMap 178)4探针测试系统(电阻率,面电阻)
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| 晶圆 | 2‘’-6‘’ |
|---|---|
| 量测头 | 2~4个 |
| 量测单元 | 最多扩充3个 |
| 探针材质 | 碳化钨 |
| 探针压力 | 100gm~200gm |
| 数据搜集 | 每点高达4000笔 |
| 数据接口 | Semi标准接口 |
| 重量 | 0.178kg |
ResMap 273
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In stock
| 晶圆 | 2” – 12” |
|---|---|
| 晶片传送 | 手动加载 |
| 最大直径 | 12.2” |
| 最大面积 | 8.6”× 8.6” |
| 典型测量时间 | 1秒每site |
| 最大输出 | 每个晶片1分(29sites) |
| 测量范围 | 2 mΩ/□ – 5 MΩ/□(可以优化为1 mΩ/□) |
| 重复率 (1σ, 典型): | ≤ ±0.02% |
| 准确度 | ≤ ±0.5%采用NIST可追溯性ResCal标准 |
| 最低周边除外范围 | 1.5毫米(探针中心到膜边缘距离) |
| 电脑系统 | 奔腾系列, windows XP家用(不带显示) |
| SECS-II 选项 | 有 |
| 映照模式 | 极投影地图(对准缺口/平形,跨越,或者持平), 矩形图(选择内侧边缘排除), 线扫描(直径,半径或沿直径任意点,最小步进0.1毫米点), 用户自定义(模板) |
| 平面图 | 等高线(间距选择,1/3σ,固定和自动%),3D,线,数据图,直方图,数据序列,径向和角分布,趋势图的不同模式可供选择 |
| 数据 | 所有ResMap数据文件可以复制到如Excel®进行进一步的分析。 |
| 中央吸尘系统 | 不要求真空 |
| 交流功率 | 100V to 240V < 10 KVA |
| 尺寸 | 18”×15”×10” |











